单粒子翻转

半导体器件中的单粒子效应

我们知道，带电离子穿透半导体材料的过程中，会与靶材原子发生交互作用，沿离子运动轨迹生成电子 - 空穴对，这一物理过程正是单粒子效应的诱发根源。从作用机理来看，半导体器件及集成电路中单粒子效应的产生需经历三个核心阶段，各阶段的物理行为存在显著差异：